大日本印刷(DNP)とLuminescent Technologiesは2月25日、米Luminescent社の自動画像処理ハブ「Luminescent’s Automated Image Processing Hub:LAIPH」をベース とした電子計算機手法による計測と外観検査の3年間共同開発プログラムの第一期を終了したと発表した。

同プログラムの目標は、フォトマスク欠陥のレビューと分析のサイクル時間を削減すると同時に、フォトマスク品質全般を向上させることで、第一期の活動により、LAIPHのエリアルイメージアナライザソフトウエア「AIA」がDNPの上福岡工場にあるフォトマスク生産ラインに導入され、運用が開始された。

AIAは、LuminescentのLAIPHプラットフォームのアプリケーション群の1つで、先端マスク製造ラインやウェハ工場で、困難になっている外観検査判定の課題に挑戦するためのもの。スイスCarl Ceissの「AIMS」や米Applied Material(AMAT)のマスク検査装置「Aera」によって検出された欠陥画像情報の高精度定量解析手段を提供する。

また、シミュレーションによりウェハ上の光強度分布、パターンの寸法、その位置情報をもとに欠陥の合否判定を自動的に行うほか、これら検査装置の利用効率を向上させるとともに作業者による判定作業に比べて、100倍以上高速でより高度で再現性の良い解析結果を提供することが可能になるという。