ヨコオは、アナログICのWLCSP検査市場向けに高精度な電圧測定が可能な狭ピッチ・ケルビン検査用プローブを発表した。

スマートフォンを中心としたモバイル端末の小型・薄型化の急速な進展に伴い、機器に実装される電源IC、スイッチICなどのアナログICも小型化が進み、端子間ピッチは従来の0.5mmから0.4mmが主流となっている。特に、電源ICでは低電圧化に伴い高精度な抵抗値測定が求められている。このため、アナログICのWLCSP検査工程では、より高精度な測定が可能なケルビン測定法(4端子測定)が採用されるケースが増えている。

しかし、被検査ICの検査端子が0.4mmピッチになると、基板上のはんだボール径は0.2mm以下と小さくなる。そこへ、2本の測定用プローブをコンタクトさせるには、プローブの打痕などはんだボールにかかるダメージを考慮した場合、極力はんだボールの中心部分にコンタクトさせなければならず、1つの被測定端子にコンタクトさせるフォースピンとセンスピンとのケルビンピッチは極力小さくすることが求められる。

そこで、これまでケルビンピッチ50μm品を市場投入してきたが、0.15mm以下の小さなはんだボール径に対する検査ニーズに対応するため、従来品の1/2となる25μm品を製品化した。

新製品のスペックは、適用IC端子ピッチが0.5～0.35mm、ケルビンピッチが25μm、使用長が6.35mm、ストロークが0.2mm、電流容量が600mAとなっている。