計測機器大手Agilent Technologiesの日本法人であるアジレント・テクノロジーは、自社の半導体パラメータ自動測定ソフトウェア「SPARK」の機能を拡張し、パワーデバイス測定に対応させたことを発表した。

SPARKは、同社の半導体パラメータ・アナライザ、LCRメータ、スイッチング・マトリクス、および各社のオートプローバやセミプローバ用のドライバを標準装備し、プログラムを作成することなく半導体パラメータの自動測定を実現できるソフトウェア。

測定条件、ウェハマップ、測定チップを設定後、測定開始ボタンを押すだけで、連続測定を行うことができるほか、測定後にはデータの統計解析機能を使って、データの加工を行うことが可能だ。

今回の機能拡張では、対象となる測定器に「Agilent B1505A パワーデバイス・アナライザ/カーブトレーサ」を追加。これにより、パワーデバイスの測定においても、オートプローバやセミプローバを用いて、プログラムの作成なしに容易に自動測定を実現できるようになった。

また、併せて日本マイクロニクスのプローバ「AP-80」にも対応したほた、動作環境として、Microsoft Windows 7 Professionalにも対応したという。