日本NI、半導体特性評価/テスト用PXIプラットフォーム拡張モジュールを発表

日本ナショナルインスツルメンツ(日本NI)は8月23日、半導体特性評価/製造テスト用PXIプラットフォームの機能を拡張するパーピンパラメトリック測定ユニット(PPMU)を備えた200MHz高速デジタルI/Oモジュール「NI PXIe-6556」と、4チャネルのソースメジャーユニット(SMU)を備えた「NI PXIe-4140」および「NI PXIe-4141」モジュールの販売を開始することを発表した。

PXIe-6556では、最大200MHzでデジタル波形の生成や集録を行い、同じピン上で確度1%のDCパラメトリック測定を行うことができる。これにより、ケーブル配線の簡素化、テスト時間の短縮、テスタの密度向上が可能になるほか、タイミングを自動的に調節する内蔵タイミングキャリブレーション機能により、異なるケーブルや検査対象デバイスまでのトレース長が原因で発生するタイミングスキューをほとんど取り除くことができるようになる。また、ハードウェアまたはソフトウェアトリガに基づいたパラメトリック測定を行うことも可能だ。

一方のPXIe-4140/41は、PXI Expressスロットごとに4つのSMUチャンネル、および高さが4UのPXIシャーシごとに最大68のSMUチャンネルが備わっており、ピン数の多いデバイスのテストを簡素化することが可能だ。サンプリングレートは1秒あたり最大60万サンプリングであり、計測時間の短縮と、デバイスの過渡特性の集録の両立が可能。

また、PXIe-4141は、次世代テクノロジ「SourceAdaptテクノロジ」を採用しており、どのような負荷に対してもSMUの出力応答をカスタマイズして、最大の安定性と最小の過渡応答時間を実現することが可能となっている。

さらに、これらのPPMUおよびSMUモジュールに同社のグラフィカルシステム開発ソフトウェア「NI LabVIEW」を組み合わせることで、検証、特性評価、製造の全段階にわたり、質の向上やコストの低減、およびテスト時間の短縮を実現する、モジュール式とソフトウェア定義の手法を半導体テストに適用することができるようになるという。

なお価格はPXIe-4140が84万円(税別)、PXIe-4141が126万円(税別)、PXIe-6556が158万2000円(税別)から、となっている。