極端紫外線露光システム技術開発機構(EUVA:Extreme Ultraviolet Lithography System Development Association)は4月26日、レーザ励起型プラズマ光源(LPP光源)で、露光装置の実効的な光源にあたる中間焦点(IF:Intermediate Focus)で104Wの出力を得たことを発表した。

EUVAは、2002年より次世代露光装置であるEUV露光装置用の光源技術の開発を行ってきており、今回の成果はこれまで積み上げてきた要素技術を、光源システムとして総合化した結果得られた性能としている。

具体的には、60μm径のSnドロップレットに、7.9kWのCO2レーザを照射、変換効率2.5%によって104 Wを得ることに成功した。今後さらにCO2レーザの高出力化や、変換効率の向上を図り、実用機への適用に向けさらなる高出力化を推進して行く予定としている。

なお、同成果は、EUVA組合員企業である小松製作所(コマツ)の協力によって得られたもので、今後、露光光源の製品化は同じく組合員企業でコマツとウシオ電機の合弁会社であるギガフォトンで行い、2011年に予定されている製品出荷へ向けての開発が続けられることとなる。