レポート

【11 / 15】「Intel 4」プロセスの詳細 - 7nm、EUV露光、性能2割増で2023年製品化を目指す

Photo11: SAQPだとどうしても配線のはみ出しとかがあるので、Single Dummy Gateだと配線が接触してしまう事があり得る(のでDouble Dummy Gate構成で明示的に切り離す必要がある)。EUVにすることで精密に配線長を管理できるようになったので、Single Dummy Gateで対応可能になった訳だ。

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